砷烷是一种剧毒、极易燃、无色、不稳定、与氢、氮、氩、氦混合出售的气体。该气体有令人作呕甜味。吸入或皮肤吸收会造成死亡。纯乙硼烷会自燃。 乙硼烷在混合状态下储存于不同规格的钢瓶中
容器、充装量及相关数据
硼烷 | 容器 | 充装压力 | 稀释气Ar | 稀释气He | 稀释气H2 | 稀释气N2 |
浓度 | L | Mpa | m3 | m3 | m3 | m3 |
5ppm-10% | 47 | 50~14.5 | 2.35-7.33 | 2.30-6.38 | 2.30-6.38 | 2.44-6.79 |
40 | 50~14.5 | 2.0-6.24 | 2.00-5.43 | 2.00-5.43 | 2.07-5.78 |
16 | 50~14.5 | 0.8-2.49 | 0.78-2.27 | 0.78-2.27 | 0.83-2.31 |
8 | 50~14.5 | 0.4-1.24 | 0.40-1.13 | 0.40-1.13 | 0.42-1.16 |
4 | 50~14.5 | 0.2-0.62 | 0.20-0.57 | 0.20-0.57 | 0.20-0.58 |
含量名称 | ELECTRONIC |
B2H6 | 99.998%min |
CO2 | ﹤5ppm |
O2 | ﹤1ppm |
N2 | ﹤10ppm |
THC | ﹤5ppm |