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    磷烷混合气





    磷烷(PH3)混合气 

    为了使浓度低于100%,可以用氩气、氦、氢或氮气稀释砷烷。用这种形式的砷烷可以增加工艺控制的复合度,尤其沉积非常少量的磷时。

    说明

    气瓶接头:CGA-350

    掺杂浓度:能够与特大规模或超大规模级平衡气混合

    砷烷

    浓度

    气瓶

    尺寸

    压力

    psig

    Ft3

    M3

    Ft3

    M3

    Ft3

    M3

    Ft3

    M3

    5ppm-23%

    044

    016

    1800

    1800

    200

    75

    5.66

    2.12

    175

    66

    4.95

    1.87

    175

    66

    4.95

    2.12

    187

    70

    5.30

    1.98

    因为磷烷有一个较低的蒸汽压力,比上述更高浓度的压力低于上述值。为了避免磷烷的液化,只有一个最大的量装入气瓶内。为了得到更高的浓度,增加较少的平衡气

     

    硅烷平衡磷烷

    浓度

    气瓶

    尺寸

    压力

    Psig

    容量

    Ft3

    M3

    1-20%

    049

    044

    016

    875

    875

    875

    148

    133

    50

    4.19

    3.771

    1.42

     

    交通运输部装运说明

    氢平衡

    浓度

    装运名称

    装运文件

    装运标签

    >10%

    _%磷烷/氢气混合气,吸入危害

    压缩气体,有毒,易燃,(_%磷烷/氢气混合气)2.3 UN1953,危险区域A

    有毒气体

    易燃气体

    10-2%

    _%磷烷/氢气混合气,吸入危害

    压缩气体,有毒,易燃,(_%磷烷/氢气混合气)2.3 UN1953,危险区域B

    有毒气体

    易燃气体

    2-0.67%

    _%磷烷/氢气混合气,吸入危害

    压缩气体,有毒,易燃,(_%磷烷/氢气混合气)2.3 UN1953,危险区域C

    有毒气体

    易燃气体

    0.67-0.4%

    _%磷烷/氢气混合气,吸入危害

    压缩气体,有毒,易燃,(_%磷烷/氢气混合气)2.3 UN1953,危险区域D

    有毒气体

    易燃气体

    <4000ppm

    _ppm磷烷/氢气混合气

    压缩气体,有毒,易燃,

    (_ppm磷烷/氢气混合气)2.1 UN1954

    易燃气体

    氩、氦、氮平衡

    浓度

    装运名称

    装运文件

    装运标签

    >10%

    _%磷烷/氮气混合气,吸入危害

    压缩气体,有毒,易燃(_%磷烷/氮气混合气)2.3  UN1953,危险区域A

    有毒气体

    易燃气体

    10-2%

    _%磷烷/氮气混合气,吸入危害

    压缩气体,有毒,易燃(_%磷烷/氮气混合气)2.3  UN1953,危险区域B

    有毒气体

    易燃气体

    2-0.7%(Ar)

    2-0.9%(He)

    2-1.2%(N2)

    _%磷烷/氮气混合气,吸入危害

    压缩气体,有毒,易燃(_%磷烷/氮气混合气)2.3  UN1953,危险区域C

    有毒气体

    易燃气体

    0.7-0.67%(Ar)

    0.9-0.67%(He)

    1.2-0.67%(N2)

    _%磷烷/氮气混合气,吸入危害

    压缩气体,有毒,易燃(_%磷烷/氮气混合气)2.3  UN1953,危险区域C

    有毒气体

     

    0.67-0.4%

    _%磷烷/氮气混合气,吸入危害

    压缩气体,有毒,易燃(_%磷烷/氮气混合气)2.3  UN1953,危险区域D

    有毒气体

    <4000ppm

    _ppm磷烷/氮气混合气

    压缩气体(_ppm磷烷/氮气混合气)2.2UN1956

    不燃气体







     







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