剧毒、无色、不燃烧的压缩气体，带有可察觉到的气味。水解生成氢氟酸。液化瓶装气体，压力为其蒸气压(680.46kgf/cm2 @21.1°C)。
| 分子量 | 104.08 |
| 蒸气压 |
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| 标准体积 | 3.69 cf/lb@NTP |
| 温度（Deg. °F） | 压力（psia） |
| 沸点 | -138.6°F(-94.8°C) @1 atm |
| 32 |
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| 危险 | 剧毒，对组织有强刺激和腐蚀 |
| 70 | 985.30 |
| 气瓶材质 | 不锈钢 |
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DOT 标签 | 白色，吸入危险；黑色和白色，腐蚀性有毒气体。 | 安全资料 |
DOT危险等级 | 2.3 | ACGIH：TWA: 3 ppm ceiling |
UN No. | UN 1859 | IDLH： 20 ppm |
CAS No. | 7783-61-1 | 比重（Air=1） | 3.6 |
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| 气体密度 | 0.271 lb/ cf @NTP |
容器规格 | DOT 规格 | 容器尺寸
(in.) (cm) | 平均重量
(lbs) (kg) | 平均容积
(ft3) (L) | 充装量
(lbs) (kg) |
200 | 3AA2265 | 9×51 23×130 | 119 54 | 1.55 (43.9) | 50 22.7 |
成分 |
| 规范 | 单位 |
| SiF4 | ≥ | 99.9% | %V |
| Air | ≤ | 400 | ppmv |
| CO2 | ≤ | 400 | ppmv |
| CO | ≤ | 150 | ppmv |
四氟化硅(SiF4)
安全须知： | 四氟化硅是一种剧毒、有腐蚀性、不燃烧的充装压力最大1000 psig的气体。强烈的刺激性气味。气体无色但遇潮湿空气生成白烟。遇水水解生成氢氟酸。如果吸入或皮肤接触导致强烈的化学灼伤。进入释放区域戴自吸式放毒面具。大量释放的区域需要完全防护服装。
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