成分 规范 单位 CH2F2 ≥ 99.99% %V N2 ≤ 8 ppmv O2 ≤ 2 ppmv CO2 ≤ 5 ppmv H2O ≤ 5 ppmv 其它氟碳 ≤ 50 ppmv 酸度(HF)≤ 0.1 ppmw 包装:2L、4L、8L、40L、铝合金钢瓶、碳钢瓶等注:凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蚀性和活性气体组份标准气都采用特殊处理气瓶贮存,并统一采用不锈钢瓶阀。