一氟甲烷 (CH3F) 成分 规范 单位 CH3F ≥ 99.99% %V N2 ≤ 80 ppmv O2 ≤ 20 ppmv H2O ≤ 10 ppmv 包装:2L、4L、8L、40L、铝合金钢瓶、碳钢瓶等注:凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蚀性和活性气体组份标准气都采用特殊处理气瓶贮存,并统一采用不锈钢瓶阀。