高纯四氟化碳：“有价无货”时代已经结束-深圳金谷气体有限公司

近几年来，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。记者在不久前召开的全国特种气体第十四次年会上了解到，我国在国产化方面取得可喜进展，就高纯四氟化碳来说，“有价无货”时代已经结束。

　　光明化工研究设计院总工程师孙福楠介绍说金融危机暴发前，由于国内不具备四氟化碳规模化生产能力，有钱也买不到产品，市场经常出现“有价无货”的现象。但随着国产高纯四氟化碳的入市，现在“有价无货”时代已经结束。据佛山市华特气体有限公司副总经理傅铸红介绍，目前国内市场每年需要高纯四氟化碳约1000吨，纯度达99.9995%的国产货基本可满足国内需求。

　　我国制氟技术的进步主要得益于军工技术的支撑，中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、中船重工第七一八研究所和天津核工业理化工程研究院等长期以来依托雄厚的技术力量，为我国制氟技术的进步提供了重要的技术支持。

　　据了解，高纯四氟化碳气广泛应用于硅材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。我国目前有多家气体公司如北京绿菱气体科技有限公司、佛山市华特气体有限公司等生产高纯四氟化碳。