国内电子气体发展问题分析：电子气体的发展是关键-深圳金谷气体有限公司

随着全球半导体产业的发展，半导体材料已成为二十一世纪信息社会和大数据时代高新技术产业的基础材料。电子气体作为极大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料之一，被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，没有这些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太阳能等就无法制造，这样我国制造成本必将被少数原料供应商控制，因此中国电子气体的发展对我国半导体产业的发展起着至关重要的作用。

作为全球电子产品制造大国，近年来中国电子信息产业的全球地位迅速提升，产业链日渐成熟，为中国集成电路产业发展提供了机遇。经过近十年努力，中国内地已初步形成集成电路产业、制造材料和零部件供应链雏形，并推动中国集成电路产业进入新的黄金发展期，中国市场已成为全球集成电路市场增长的主要推动力之一。

随着半导体集成电路技术的发展，对电子气体的纯度和质量要求越来越高，我国电子气体目前发展目标是增加品种、增加产量、提高国产化率，并向完成对特气生产及应用的全套技术开发的目标努力，技术包括：高危、易燃易爆、腐蚀性、剧毒气体纯化、监测、充装、输送、贮存技术，以及安全、环保技术、现场配气技术、回收与再利用技术等。

同时为提高混合气使用效率，解决安全使用和运输电子气体，特别是高纯氟气的问题，以推动绿色气体的使用，以及满足降低处理废气成本和环保要求，从而确定高纯电子气体发展方向为：绿色气体、现场发生技术和回收技术。

中国电子气体是仅次于硅片和硅基材料的第二大市场需求半导体材料，电子气体2016年的国内市场需求为48.02亿，占比14%。目前常用的电子气体纯气有60多种，混合气80多种。中国电子气体经过近10年的发展，国内涌现了一些生产质量稳定，能够被半导体客户接受的电子气生产企业。但是，与巨大的、快速发展的国内需求相比还远远不够。

国外电子气体企业多为大型跨国公司，具有较强的实力和技术积淀，业务涵盖范围较宽，可以同时为企业打包提供很多气体服务，具有很强竞争力。国内电子气体生产企业与国外大公司相比有较大差距，有着巨大的发展空间。

目前国内电子气体发展问题具体表现为：1、产业整体规模不大，国产化率低，企业规模小，缺乏领军型企业，容易被受到国外大企业排挤和打压；2、高端制造方面的新材料技术不足，技术门槛低的气体种类大量重复建设和扩产，无序竞争现象严重；3、部分电子气体企业是从大化工行业或工业气体转型而来，其品质意识、管理理念和安全管理水平不到位，造成个别产品质量稳定性欠佳。

新思界行业分析师表示，目前，我国电子气体还属于电子材料发展的短板，总体产业规模较小，个别企业实力不足，而此时中国半导体产业从之前的千亿扶持计划，到中国制造2025，恰逢新兴增长点的孕育崛起期，因此中国电子气体产业面临着前所未有的发展机遇。因此建议：国家应落实和完善对该类企业的财税、资金等优惠政策支持，加大财政资金、大基金和金融部门的扶持力度，引导集成电路厂家使用国产电子气体；企业应加快前瞻布局，加速应用推广，努力提升技术创新和管理水平，加强质量管控，用过硬产品为客户服务。