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磷烷混合气
磷烷（PH3）混合气
为了使浓度低于100%，可以用氩气、氦、氢或氮气稀释砷烷。用这种形式的砷烷可以增加工艺控制的复合度，尤其沉积非常少量的磷时。
说明
气瓶接头：CGA-350
掺杂浓度：能够与特大规模或超大规模级平衡气混合
砷烷
浓度
气瓶
尺寸
压力
psig
氩
氦
氢
氮
Ft3
M3
Ft3
M3
Ft3
M3
Ft3
M3
5ppm-23%
044
016
1800
1800
200
75
5.66
2.12
175
66
4.95
1.87
175
66
4.95
2.12
187
70
5.30
1.98
因为磷烷有一个较低的蒸汽压力，比上述更高浓度的压力低于上述值。为了避免磷烷的液化，只有一个最大的量装入气瓶内。为了得到更高的浓度，增加较少的平衡气
硅烷平衡磷烷
浓度
气瓶
尺寸
压力
Psig
容量
Ft3
M3
1-20%
049
044
016
875
875
875
148
133
50
4.19
3.771
1.42
交通运输部装运说明
氢平衡
浓度
装运名称
装运文件
装运标签
>10%
_%磷烷/氢气混合气，吸入危害
压缩气体，有毒，易燃，（_%磷烷/氢气混合气）2.3 UN1953,危险区域A
有毒气体
易燃气体
10-2%
_%磷烷/氢气混合气，吸入危害
压缩气体，有毒，易燃，（_%磷烷/氢气混合气）2.3 UN1953,危险区域B
有毒气体
易燃气体
2-0.67%
_%磷烷/氢气混合气，吸入危害
压缩气体，有毒，易燃，（_%磷烷/氢气混合气）2.3 UN1953,危险区域C
有毒气体
易燃气体
0.67-0.4%
_%磷烷/氢气混合气，吸入危害
压缩气体，有毒，易燃，（_%磷烷/氢气混合气）2.3 UN1953,危险区域D
有毒气体
易燃气体
<4000ppm
_ppm磷烷/氢气混合气
压缩气体，有毒，易燃，
（_ppm磷烷/氢气混合气）2.1 UN1954
易燃气体
氩、氦、氮平衡
浓度
装运名称
装运文件
装运标签
>10%
_%磷烷/氮气混合气，吸入危害
压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953，危险区域A
有毒气体
易燃气体
10-2%
_%磷烷/氮气混合气，吸入危害
压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953,危险区域B
有毒气体
易燃气体
2-0.7%（Ar）
2-0.9%（He）
2-1.2%(N2)
_%磷烷/氮气混合气，吸入危害
压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953，危险区域C
有毒气体
易燃气体
0.7-0.67%(Ar)
0.9-0.67%(He)
1.2-0.67%(N2)
_%磷烷/氮气混合气，吸入危害
压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953，危险区域C
有毒气体
0.67-0.4%
_%磷烷/氮气混合气，吸入危害
压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953,危险区域D
有毒气体
<4000ppm
_ppm磷烷/氮气混合气
压缩气体（_ppm磷烷/氮气混合气）2.2UN1956
不燃气体
