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硅烷混合气(SiH4/Balance)
在70°F(21.1°C)气体压力5.0Mpa；可以按照要求配制其它压力。
可按照要求配制其它比例混合气。容器规格
规格
容器尺寸 (in.)(cm)
平均重量 (lbs)(kg)
平均容积 (ft3)(L)
200
3AA2265
9x51 23x130
119 54
1.55 (43.9)
硅烷在氮气气中
含量
气瓶规格
充装量 (ft3)(L)
阀门型号
1.0%
2.0%
3.0%
4.0%
5.0%
10.0%200
77.6 2.2
CGA350
硅烷在氢气中
含量
气瓶规格
充装量 (ft3)(L)
阀门型号
1.0%
2.0%
3.0%
4.0%
5.0%
10.0%200
77.6 2.2
CGA350
硅烷在氩气中
含量
气瓶规格
充装量 (ft3)(L)
阀门型号
1.0%
2.0%
3.0%
4.0%
5.0%
10.0%200
77.6 2.2
CGA350
安全须知：
危险本产品为无色、极易燃烧的气体混合物，有令人感觉不适的气味。该产品释放出来的潜在的危险是严重的热灼伤，由于该混合气体中的硅烷气体极易燃；另一种危险就是窒息性。
