应用：在离子植入中用作硼源（P掺杂）、用于外延生长 
容器：气瓶
包装：2L、4L、8L、40L、铝合金钢瓶、碳钢瓶等注：凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蚀性和活性气体组份标准气都采用特殊处理气瓶贮存，并统一采用不锈钢瓶阀。