成分  规范  单位 CH2F2 ≥   99.99%  %V N2    ≤   8 ppmv O2    ≤   2 ppmv CO2   ≤   5 ppmv H2O   ≤   5 ppmv 其它氟碳 ≤ 50 ppmv 酸度(HF)≤ 0.1 ppmw 包装：2L、4L、8L、40L、铝合金钢瓶、碳钢瓶等注：凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蚀性和活性气体组份标准气都采用特殊处理气瓶贮存，并统一采用不锈钢瓶阀。