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减压器
R31SL 系列膜片式减压器，采用双级减压结构，输出压力稳定精确，适用于小流量场合。结 构 特 点Featuresu 双级式减压结构u 膜片与母体采用硬密封形式u 母体螺纹：1/4” NPT (F)u 安全压力：1.5 倍的最大输入压力u 适用温度：-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)u 泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec Heu CV 值：0.08u 重量：0.9 kg (2.0 lbs)材 质Materialsu 母体：铜电镀，316Lu 阀座：PCTFE，PTFE，Vespel®u 膜片：316L，Hastelloy®适 用 范 围Typical Applicationsu 钢瓶气u 实验室u 气相分析u 测试仪表u 石油化学工业u 电厂设备气体名称+浓度 纯度 容积/重量 接口类型 硅烷100%SIH4 6N 47L /10KG DISS632 硅烷100%SIH4 6N 47L /15KG DISS632 硅烷 SIH4 20%+N2 5N 47L CGA350 磷烷 5%PH3＋N2 5N 44L CGA350 硼烷 B2H6 3%＋N2 2N5 188CF CGA350 氨气 NH3 5N 44L DISS720 二氯二氢硅 SiH2CL2 3N 40L / 38KG CGA678 笑气 NO2 5N 47L DISS712 六氟化二碳 C2F6 5N 47L/ 40KG DISS716 四氟化碳 CF4 5N 47L / 30KG DISS716 氦气 He 6N 47L CGA580 氮气 N2 5N 47L / 11.8MPa G518 TEOS 8N5 17KG /5gaL 1/4VCR 四氟化碳 CF4 5N 47L / 30KG DISS716 三氟化氮 NF3 4N 47L/ 20KG CGA640 三氟甲烷 CHF3 5N 47L / 30KG DISS716 六氟化硫 SF6 5N 47L/ 50KG DISS716 六氟化二碳 C2F6 5N 47L/ 40KG DISS720 氯气 CL2 5N 47L / 50KG CGA660 三氯化硼 BCL3 5N 44L / 40KG DISS720 溴化氢 HBr 5N 40L/ 10KG CGA634 氦氧 He70%+ 30%O2 6N 47L CGA580 氦氧 He95%+0.5%O2 6N 47L CGA580 氩气Ar 6N 44L/7M3 CGA580 三氟化硼BF3 4.4N 0.7L/100G CGA330 三氟化磷 电子级 0.7L/100G CGA330
